烘箱過程MES管理系統(tǒng)400度高溫?zé)o塵無氧

450度高溫?zé)o氧烤箱采用智能烘箱過程管理系統(tǒng)，由上海旦順實(shí)業(yè)有限公司自主研發(fā)，基于TCP/ip協(xié)議，與工廠系統(tǒng)對接，實(shí)現(xiàn)自動化烘烤，過程管理?？刂品奖恪⒉僮骱唵?、靈活性大。高精度控制、智能化操作、人性化的構(gòu)造，大大提高生產(chǎn)效力！

450度高溫?zé)o氧烤箱主要做BPO膠/PI膠/BCB膠固化，IC（晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識別）、FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料無塵烘干，電工產(chǎn)品、材料、零備等高溫潔凈和無氧環(huán)境中干燥和老化試驗(yàn)。

450度高溫?zé)o氧烤箱主要技術(shù)指標(biāo) 

1、潔凈等級：Class100級

2、含氧量：<=20PPM

3、使用溫度：RT～400℃，最高溫度：450℃；  

4、腔體數(shù)量:2個(gè),上下布置；獨(dú)立控溫

5、爐膛材料：SUS304鏡面不銹鋼；加熱元件：不銹鋼加熱器；熱偶

6、空爐升溫時(shí)間：1.5h；

7.空爐降溫時(shí)間：375℃--80℃；降溫時(shí)間1.5-3.5小時(shí) (采用水冷及風(fēng)冷)；

8.智能控制系統(tǒng)：日本歐姆龍PCL+PC工控電腦

智能控制系統(tǒng)特點(diǎn)：

◆ 可接入MES和ERP通訊

◆ 權(quán)限分級管理，給每個(gè)管理者、工程師、操作員獨(dú)立用戶名和密碼

◆ 智能控制系統(tǒng),歷史數(shù)據(jù)、操作、報(bào)警，事件等等數(shù)據(jù)查詢，記憶操作步驟，操作便捷

◆ PC 內(nèi)部記錄數(shù)據(jù)，使用 Excel 等常用軟件可以讀取，最短數(shù)據(jù)記錄間隔5S；

工藝線標(biāo)準(zhǔn) 
1、在常溫下以3-5℃/min升溫速率升溫40分鐘到200℃ 
2、200℃狀態(tài)下恒溫45分鐘 
3、再40min升到375℃ 
4、375℃恒溫1H 
5、最后以每分鐘3-5℃的降溫速率，79min左右從375℃降到75℃ 

烘箱過程MES管理系統(tǒng)400度高溫?zé)o塵無氧

公司名稱：上海旦順實(shí)業(yè)有限公司